紫外光催化氧化法与电导率法，哪种TOC检测技术更适合超纯水？
随着半导体工艺节点推进至3nm，超纯水TOC检测已成为良率控制的关键环节。SEMI F63-2025版标准明确要求，18MΩ·cm超纯水的TOC限值需从5ppb收紧至0.5ppb，这使得超纯水toc检测仪已成为半导体厂务管理的核心设备。
toc检测
半导体超纯水toc检测限值是多少？都有哪些检测原理？
在半导体芯片制造过程中，超纯水作为晶圆清洗、光刻显影、化学机械抛光等关键工艺的“隐形原料”，其纯度直接决定产品良率。总有机碳（TOC）作为衡量水中有机物总量的核心指标，一旦超标可能导致晶圆表面缺陷、光刻图案失真等问题。本文将直接解答两个关键问题：半导体超纯水T